Detail zboží

358775 - ČSN EN 62047-17 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev
Název : 358775 - ČSN EN 62047-17 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev Označení normy : ČSN EN 62047-17 Katalogové číslo : 98268 Třídící znak : 358775 Účinnost : 2015-10-01 Věstník : 2015.09 Strany : 36 Převzata :převzetím originálu - v angličtině
Cena :	340.00 Kč (DPH= 0%), s DPH= 340.00 Kč	ks
ANOTACE "ČSN EN 62047-17 Tato norma popisuje metodu pro provádění zkoušek vyboulením vrstvy bez podložky, která je vyboulena přes okénko. Vzorek je vyroben s mikro/nano konstrukčních vrstvových materiálů včetně kovových, keramických a polymerních vrstev, které se používají pro MEMS, mikrostroje a další. Tloušťka vrstvy je v rozsahu od 0,1 µm do 10 µm a šířka obdélníkového a čtvercového okénka a průměr kruhové membrány je v rozsahu od 0,5 mm do 4 mm. Tyto zkoušky se provádějí při pokojové teplotě, působením rovnoměrně rozloženého tlaku na vzorek zkoušené vrstvy přes okénko. Touto metodou se může určit modul pružnosti a zbytkové pnutí pro vrstvové materiály."