Detail zboží
358775 - ČSN EN 62047-18 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů | ||
Název : 358775 - ČSN EN 62047-18 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů
Označení normy : ČSN EN 62047-18 Katalogové číslo : 95059 Třídící znak : 358775 Účinnost : 2014-05-01 Věstník : 2014.04 Strany : 24 Převzata :převzetím originálu - v angličtině | ||
Cena : | 335.00 Kč (DPH= 0%), s DPH= 335.00 Kč | |
ANOTACE "ČSN EN 62047-18 Tato norma stanovuje metody pro zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů s délkou a šířkou méně jak 1 mm a tloušťkou mezi 0,1 µm až 10 µm. Tyto tenkovrstvé prvky jsou používány jako hlavní konstrukční materiály pro mikroelektromechanické systémy (v tomto dokumentu MEMS) a mikrostroje. Hlavní konstrukční materiály pro MEMS, mikrostroje aj. mají speciální vlastnosti, jako jsou velikost několik mikrometrů, jsou vyráběny nanášením, fotolitografií a/nebo nemechanickým obráběním. Tato norma definuje zkoušku ohybem a zkoušku tvaru pro jemné mikročásticové zkušební vzorky tvaru nosníku, které umožňují zajistit přesnost, která je vyžadována ve speciálních případech." |