Detail zboží
358775 - ČSN EN 62047-13 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 13: Namáhání struktur MEMS ohybem a střihem pro měření adhezní pevnosti | ||
Název : 358775 - ČSN EN 62047-13 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 13: Namáhání struktur MEMS ohybem a střihem pro měření adhezní pevnosti
Označení normy : ČSN EN 62047-13 Katalogové číslo : 91587 Třídící znak : 358775 Účinnost : 2012-11-01 Věstník : 2012.10 Strany : 28 Převzata :převzetím originálu - v angličtině | ||
Cena : | 335.00 Kč (DPH= 0%), s DPH= 335.00 Kč | |
ANOTACE "ČSN EN 62047-13 Tato norma popisuje metody zkoušení adheze mezi mikročásticemi a podložkou za použití vzorků sloup-covitého tvaru. Norma může být použita pro měření adhezní pevnosti mikrostruktur, které se realizují na substrátu, který má šířku a výšku od 1 µm do 1 mm. Norma určuje zkušební metody pro stanovení soudržnosti mikroelementů kvůli tomu, aby bylo možno optimálně stanovit výběr materiálů a výrobní podmínky pro MEMS zařízení. Norma nestanovuje a neomezuje použitý typ a velikost zkoušeného materiálu, velikost a výkon měřicího zařízení, z toho důvodu, že není jednoznačně definována velikost MEMS vzorků a zkušebního zařízení." |