Detail zboží
358775 - ČSN EN 62047-8 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 8: Zkušební metoda ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev | ||
| Název : 358775 - ČSN EN 62047-8 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 8: Zkušební metoda ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev
Označení normy : ČSN EN 62047-8 Katalogové číslo : 89570 Třídící znak : 358775 Účinnost : 2012-01-01 Věstník : 2011.12 Strany : 28 Převzata :převzetím originálu - v angličtině | ||
| Cena : | 335.00 Kč (DPH= 0%), s DPH= 335.00 Kč | |
| ANOTACE "ČSN EN 62047-8 Tato norma definuje zkušební metodu ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev. Vyznačuje se vysokou přesností, opakovatelností a přiměřenou snahou, aby zkouška byla srovnatelná s konvenční zkouškou. Tato zkušební metoda je platná pro zkoušené vzorky s tloušťkou mezi 50 nm až několika µm a s ohledem na poměr délky a tloušťky větší jak 300. Proužek (nebo můstek), který je zavěšený mezi dvěma upevněnými podložkami je součástí MEMS, nebo mikrostroje. To umožňuje snadnější výrobu mikroproužku, než vzorků pro normalizovanou zkoušku. Zkušební postupy jsou tak jednoduché, že se dají snadno automatizovat. Tato norma může sloužit pro určování kvality při MEMS ve výrobě, protože průchodnost zkoušky je ve srovnání s klasickou zkouškou vysoká." | ||