Detail zboží

358775 - ČSN EN 62047-2 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 2: Metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů
Název : 358775 - ČSN EN 62047-2 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 2: Metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů Označení normy : ČSN EN 62047-2 Katalogové číslo : 78594 Třídící znak : 358775 Účinnost : 2007-06-01 Věstník : 2007.05 Strany : 32 Převzata :převzetím originálu - v angličtině
Cena :	340.00 Kč (DPH= 0%), s DPH= 340.00 Kč	ks
ANOTACE "ČSN EN 62047-2 Tato mezinárodní norma specifikuje metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů o délce a šířce pod 1 mm a tloušťce pod 10 µm, které jsou hlavním materiálem struktury mikroelektromechanických systémů (MEMS), mikrostrojů a podobných součástek. Hlavní materiály struktur pro MEMS, mikrostroje a podobné součástky se vyznačují typickými rozměry v řádu několika mikrometrů, výrobou materiálů pomocí nanášení a výrobou zkušebních kusů pomocí nemechanického obrábění, které používá leptání a fotolitografii. Tato mezinárodní norma popisuje zkušební metodu, která umožňuje zaručovanou přesnost odpovídající speciálním požadavkům. Přejímaná EN 62047-2 představuje 3 strany anglického textu a 25 stran anglického a francouzského textu normy IEC."