Detail zboží
358775 - ČSN EN 62047-26 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 26: Popis a měřicí metody pro mikrostruktury zářezů a jehel | ||
| Název : 358775 - ČSN EN 62047-26 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 26: Popis a měřicí metody pro mikrostruktury zářezů a jehel
Označení normy : ČSN EN 62047-26 Katalogové číslo : 500478 Třídící znak : 358775 Účinnost : 2016-09-01 Věstník : 2016.08 Strany : 40 Převzata :převzetím originálu - v angličtině | ||
| Cena : | 438.00 Kč (DPH= 0%), s DPH= 438.00 Kč | |
| ANOTACE "ČSN EN 62047-26 Tato norma specifikuje popisy struktur zářezů a jehel v mikrometrovém měřítku. Dále poskytuje příklady měření pro geometrii obou struktur. Norma platí pro struktury zářezů s hloubkou od 1 µm do 100 µm, stěnami a zářezy s příslušnými šířkami od 5 µm do 150 µm a poměrem (hloubky zářezu k šířce zářezu) 0,006 7 až 20 a dále pro jehlové struktury se třemi nebo čtyřmi plochami s výškou, vodorovnou a svislou šířkou 2 µm nebo větší a s rozměry, které se vejdou do krychle o straně 100 µm. Norma platí pro navrhování konstrukcí MEMS a pro geometrické hodnocení po procesech zhotovení MEMS." | ||