Detail zboží
358775 - ČSN EN 62047-16 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku | ||
| Název : 358775 - ČSN EN 62047-16 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
Označení normy : ČSN EN 62047-16 Katalogové číslo : 98269 Třídící znak : 358775 Účinnost : 2015-10-01 Věstník : 2015.09 Strany : 20 Převzata :převzetím originálu - v angličtině | ||
| Cena : | 228.00 Kč (DPH= 0%), s DPH= 228.00 Kč | |
| ANOTACE "ČSN EN 62047-16 Tato norma popisuje metodu zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev s tloušťkami v rozsahu 0,01 µm do 10 µm ve strukturách MEMS vytvořených metodou zakřivení desky nebo metodou ohybu konzolového nosníku. Vrstvy by měly být naneseny na substrát známých mechanických vlastností Youngova modulu a Poissonova poměru. Tyto metody slouží k určení zbytkového pnutí tenkých vrstev nanesených na substrátu." | ||