Detail zboží
358775 - ČSN EN 62047-22 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 22: Elektromechanická metoda zkoušky tahem pro vodivé tenké vrstvy na pružných substrátech | ||
| Název : 358775 - ČSN EN 62047-22 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 22: Elektromechanická metoda zkoušky tahem pro vodivé tenké vrstvy na pružných substrátech
Označení normy : ČSN EN 62047-22 Katalogové číslo : 97101 Třídící znak : 358775 Účinnost : 2015-05-01 Věstník : 2015.04 Strany : 24 Převzata :převzetím originálu - v angličtině | ||
| Cena : | 335.00 Kč (DPH= 0%), s DPH= 335.00 Kč | |
| ANOTACE "ČSN EN 62047-22 Tato norma stanovuje metodu pro zkoušku tahem pro měření elektromechanických vlastností materiálů vodivých tenkovrstvých mikroelektromechanických systémů (MEMS), které jsou upevněny na nevodivé pružné substráty. Vodivé tenkovrstvé struktury na pružných substrátech jsou ve velké míře používány pro MEMS, spotřební výrobky a v oblasti pružné elektroniky. Elektrické chování vrstev na pružných substrátech je odlišné od vlastností samonosných vrstev a substrátů v důsledku mezivrstvového působení. Rozdílné kombinace pružných substrátů a tenkých vrstev mají často různé vlivy na výsledky zkoušek a na mezivrstvovou adhezi. Požadovaná tloušťka tenkých MEMS materiálů je 50krát menší než je tloušťka pružného substrátu, zatímco všechny ostatní rozměry jsou navzájem podobné." | ||